In der europäischen Halbleiter- und Nanotechnologie-Produktion (Silicon Saxony in Dresden, Großraum Frankfurt, Regensburg und München) erfordern Lithographie-, Epitaxie- und Ätzprozesse Prozessgase mit extremer Reinheit (Qualitätsstufe 9N bis 10N, d.h. Verunreinigungen unter 1 ppb).
Um Spuren von Feuchtigkeit, Sauerstoff, Kohlenmonoxid und Kohlenwasserstoffen aus Stickstoff, Wasserstoff, Argon und korrosiven Gasen abzutrennen, setzen Fabs Point-of-Use (POU) Gasreiniger, heizbare Getter-Säulen und katalytische Nanofilter ein.
Deutsche Halbleiterhersteller und Reinraum-Ausrüster importieren diese hochreinen Getter-Patronen und UHP-Edelstahl-Purifier von führenden US-Spezialisten wie Entegris Inc., SAES Pure Gas USA, NuPure Corporation, und Aeronex USA.
In diesem Leitfaden erläutert AQX Logistics die gefahrgutrechtlichen und schwingungstechnischen Voraussetzungen für den Express-Luftfrachtversand von Kalifornien nach Deutschland.
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